弾性表面波素子

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：吉田稔 , 田中達也 , 福元義和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-169145
公開番号（公開出願番号）：特開2002-368568
特許番号：特許第3971128号
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電基板と、この圧電基板上に形成されたインターディジタルトランスデューサとを備え、前記インターディジタルトランスデューサは、複数の電極指を備える電極を有し、前記電極は、当該電極の厚みに対して50%の膜厚比率で前記圧電基板上に設けられたTi下地膜と、当該Ti下地膜上に積層されたAl合金膜と、を含み、前記Al合金膜は、0.5〜2wt%の濃度のCuを含む、弾性表面波素子。

IPC (1件)：