特許
J-GLOBAL ID：201103063495825600

表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体

発明者：
山本 貴靖

山本 貴靖 について


出願人/特許権者：
株式会社ニデック

株式会社ニデック について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-217439
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041736
特許番号：特許第3372224号
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ディスクの表面形状を検査する表面検査装置において、斜入射干渉方式であって位相を変えてディスク表面と参照面で反射した光により干渉縞を順次形成する干渉縞形成手段と、位相の異なる干渉縞の画像を取り込む画像取得手段と、を備え平坦度の解析を行い所定の形式で表示する平坦度解析装置と、前記ディスクの半径方向での領域であって、急激な形状変化が生じやすいエッジ部の検査領域、検査領域外であって検査領域に近傍しかつ全体撓み等に影響されない小区間の近傍領域を設定する設定手段と、近傍領域における三次元形状データに基づいて所期する半径方向での断面の基準腺を得て、基準腺に対する検査領域の断面方向での変位量を得る解析手段と、該解析手段による解析結果を出力すると共に、その解析結果と前記三次元形状データに基づくエッジを含む平坦度の解析結果との対応関係を出力する出力手段と、を備えたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/30 101 ,  G11B 7/26
FI (2件)：
G01B 11/30 101 A ,  G11B 7/26
引用特許：
審査官引用 (4件)
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