超微粒子分級装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：蔵合正博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-091902
公開番号（公開出願番号）：特開2001-276661
特許番号：特許第4280809号
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】間隔を開けて平行に配置された2つの同軸のディスク間に形成される空間を分級領域とし、前記分級領域において荷電超微粒子を粘性流体中で静電界が印加された際の荷電粒子の粒径に依存した電気移動度を利用して分級し、前記同軸のディスクを3つ以上配置することにより前記分級領域が2つ以上の多段で構成され、当該多段分級領域の各段ごとに、ディスクの外周部分から分級領域の中心部方向へシースガスが流入される超微粒子分級装置において、前記多段分級領域の段数の増加につれて、各段へ流入するシースガス流量が増加する、ことを特徴とする超微粒子分級装置。

IPC (3件)：