特許
J-GLOBAL ID：201103063936422158
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山田 恒光
, 大塚 誠一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-188041
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001555
特許番号：特許第4479065号
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザ発振器と、該レーザ発振器から発振されたレーザ光を反射させる折返しミラーと、該折返しミラーで反射されたレーザ光を入射集光レンズを経て伝送する光ファイバと、該光ファイバで伝送された該レーザ光を集光レンズにより集光して被加工物に照射し該被加工物を加工する加工ヘッドとを備え、
該レーザ発振器より該被加工物に照射された該レーザ光を該被加工物で反射して反射光にするレーザ加工装置であって、
該折返しミラーの背面に設置され且つ該折返しミラーを透過した該反射光の光強度を検出する光検出器と、
該光検出器で検出した光強度の検出信号と予め設定した光強度の閾値とを比較して被加工物の加工状態若しくは装置の作動状態が正常か否かを判別する手段と、
該加工ヘッドに備えられた該集光レンズの焦点位置を検出するように、該被加工物の上面で回転して該レーザ光を横切る治具を配置し且つ該レーザ発振器から該被加工物へ照射される該レーザ光を該治具で反射して反射光にする焦点位置検出器と、
該焦点位置検出器で反射した該反射光から該被加工物の加工点に対する該集光レンズの焦点のずれを求め、該加工ヘッドを該被加工物に近接、離反するよう移動させる手段に、前記焦点が該被加工物の加工点に合うよう該加工ヘッドを移動させる指令を与える手段と、
該折返しミラーを透過した該反射光を検出する該光検出器を、検出面が4分割された光検出器とし、該光検出器で検出した複数の光強度の検出信号から、該集光レンズの焦点の該被加工物における加工点平面方向のずれを求め、該ずれをなくすよう、該被加工物を支持する手段を該被加工物の平面方向へ移動させる手段に指令を与える手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/00 ( 200 6.01)
, B23K 26/08 ( 200 6.01)
, G01J 1/42 ( 200 6.01)
B23K 26/00 Q
, B23K 26/00 P
, B23K 26/08 K
, G01J 1/42 D
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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