特許
J-GLOBAL ID：201103063967056109
セラミックヒータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 吏規夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340720
公開番号（公開出願番号）：特開2002-175869
特許番号：特許第4592924号
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】多孔質基体の骨格表面にCVD又はCVI法により形成された耐熱耐酸化物質の内層と、前記内層の外面にCVD又はCVI法により形成された導電性物質の中間層と、前記中間層の外面にCVD又はCVI法により形成された耐熱耐酸化物質の外層とにより多孔質構造とされ、
前記内層及び外層の耐熱耐酸化物質が、炭化珪素、窒化珪素、炭化クロムの何れかであり、
前記中間層の導電性物質が、窒化チタン、炭化チタン、ホウ化チタン、熱分解炭素、黒鉛の何れかであることを特徴とするセラミックヒータ。
IPC (7件)：
H05B 3/10 ( 200 6.01)
, C04B 41/87 ( 200 6.01)
, C04B 41/89 ( 200 6.01)
, C23C 16/30 ( 200 6.01)
, H05B 3/14 ( 200 6.01)
, H05B 3/18 ( 200 6.01)
, H05B 3/48 ( 200 6.01)
H05B 3/10 C
, H05B 3/10 A
, C04B 41/87 G
, C04B 41/89 K
, C23C 16/30
, H05B 3/14 B
, H05B 3/18
, H05B 3/48
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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