基板搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：石島茂男 , 阿部英樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-216271
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044262
特許番号：特許第4166379号
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】移動可能に構成された腕部と、前記腕部に設けられ、前記腕部の移動によって移動可能に構成された吸着装置とを有する基板搬送装置であって、前記吸着装置には、幅4mm以下であって、間隔2mm以下の第1、第2の電極が設けられ、前記吸着装置は、前記第1、第2の電極間に電圧を印加した状態で移動できるように構成され、前記第1、第2の電極表面は露出され、前記吸着装置に基板を密着させたときに、前記第1、第2の電極と前記基板とは接触するように構成された基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) , B25J 15/06 ( 200 6.01) , B65G 49/06 ( 200 6.01) , C23C 14/50 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/68 B , B25J 15/06 S , B65G 49/06 A , C23C 14/50 K

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-288352
基板移載機
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-215066 出願人：シャープ株式会社
絶縁型静電チャックと励起方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-008378 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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審査官引用 (4件)

特開平2-288352
基板移載機
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-215066 出願人：シャープ株式会社
絶縁型静電チャックと励起方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-008378 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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