特許
J-GLOBAL ID：201103064232997879
伸張可能な回復力部材を有する微細加工ミラー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (11件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 酒井 將行
, 荒川 伸夫
, 佐々木 眞人
, 浅村 皓
, 浅村 肇
, 清水 邦明
, 林 鉐三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-571445
特許番号：特許第4619538号
出願日： 1999年09月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光のビームを偏向させるのに使用するミクロン寸法のミラーアセンブリであって、
平坦なベースと、
該平坦なベースから間隔がとられて該平坦なベースに概ね平行に配置される平坦なミラーであって、第1および第2の端部および、該第1および第2の端部の間に延びる縦軸を有する前記平坦なミラーと、
縦軸に沿って延び前記第1および第2の端部にそれぞれ接続されて前記ミラーが縦軸周りの第1および第2の位置間で前記平坦なベースに対して揺動できるようにする第1および第2のトーション部材と、
該第1および第2のトーション部材を前記平坦なベースに固定する手段と、を含み、
前記ミラーの少なくとも一部は導電材料でできており、さらに、
前記平坦なベースにより支持され、前記ミラーを前記第1および第2の位置間で駆動する第1および第2の間隔のとられた電極と、
縦軸を横切して延び前記第1のトーション部材に固定されるつなぎ部材と、
該つなぎ部材を前記平坦なベースに固定して該つなぎ部材が前記ミラーの揺動を調節するようにする手段と、
を含む、前記ミラーアセンブリ。
IPC (4件)：
G02B 26/10 ( 200 6.01)
, G02B 26/08 ( 200 6.01)
, G02B 7/182 ( 200 6.01)
, G11B 7/09 ( 200 6.01)
G02B 26/10 104 A
, G02B 26/08 E
, G02B 7/18 Z
, G11B 7/09 E
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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