特許
J-GLOBAL ID：200903022972533016
捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河上 紘範
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-568104
公開番号（公開出願番号）：特表2002-524271
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：
【要約】基準フレーム(56)を動的プレート(58)に連結する、微細加工で一体に製造される構造体。フレーム(56)を捩りバーでではなく、折返し捩り撓みヒンジ(96)でプレート(68)に連結することが、捩り振動子又はスキャナの性能に極めて有利となる。折返し捩り撓みヒンジ(96)はプレート(58)をフレーム(56)側から支持するものであって、3つの基本ヒンジ素子(102a、102b、102c)から成る。各基本ヒンジ素子(102a、102b、102c)の縦軸(98)の向きは、プレート(58)の回転軸(62)に垂直ではない。折返し捩り撓みヒンジ(96)の中間部(104)が、基本ヒンジ素子(102a、102b、102c)の直隣接端(106)を相互に連結している。基本ヒンジ素子(102b)は、フレーム(56)に対して、軸(62)を中心とするプレート(58)の角回転を測定する捩りセンサ(108)を備えても良い。
請求項（抜粋）：
一体化微細加工構造体であって、 基準部材と、 該基準部材から突出し、且つ直径反対方向にあって、互いに対向する一対の捩り撓みヒンジであり、該捩り撓みヒンジの少なくとも一つが少なくとも3つの相互連結する基本ヒンジセグメントの第1の端部を互いに連結することにより形成され、各基本ヒンジセグメントは軸線を有し、各基本ヒンジセグメントの第1の端部が捩り撓みヒンジの端部間に位置するようにした一対の捩り撓みヒンジと、 上記一つの捩り撓みヒンジにより上記基準部材に連結され、それにより該基準部材側から支持されて、該一対の捩り撓みヒンジが設定する軸を中心として回転する動的部材であって、且つ上記ヒンジセグメント軸線の何れとも向きが垂直でない動的部材とを備えると共に、 上記基準部材と一対の捩り撓みヒンジと動的部材とが、シリコン基板の応力無残留の半導体層を用いて一体化製造されてい、それにより 上記動的部材を基準部材側から従来の折返しのない捩りバーで支持させた場合と比較して、微細加工構造体はよりコンパクトであり、且つ上記捩り撓みヒンジが、それと同一の捩りバネ常数を有する従来の折返しの無い捩りバーと比較して、水平又は鉛直方向又は両方向においてより高い剛性を有して成る構成を特徴とする一体化微細加工構造体。
IPC (3件)：
B81B 3/00
, G02B 26/08
, G02B 26/10 101
B81B 3/00
, G02B 26/08 E
, G02B 26/10 101
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
, 2H045AB16
, 2H045AB43
, 2H045AB72
