特許

J-GLOBAL ID：201103064506372765

パーフルオロコンパウンドのリサイクル利用方法

発明者： 永野 修次 ,  大矢 浩三 ,  真鍋 岳史 ,  枝澤 克人 ,  新田 昭彦 ,  安藤 秀樹 ,  八高 賢一 ,  後藤 正敏
出願人/特許権者： 財団法人地球環境産業技術研究機構
代理人 (1件)： 羽鳥 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-129016
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324785
特許番号：特許第3463873号
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 半導体製造プロセス排ガスから回収されたパーフルオロコンパウンド(PFC)混合物を、不活性ガスとの混合物の形で、活性炭または金属化合物添着活性炭と500°C以上の温度条件下に接触させることにより、前記PFC混合物のうち前記条件下に四フッ化メタンおよび六フッ化エタンに変性しうる成分を四フッ化メタンおよび六フッ化エタンに選択的に変性させること、ついで、前記活性炭との接触反応で変性されないPFC、前記活性炭との接触反応で変性されたPFCおよび前記活性炭との接触反応で発生した酸性ガスを含む反応混合物を、アルカリ土類金属化合物と100°C以上600°C以下の温度条件下に接触させることにより、前記反応混合物中の高次フッ化物以外の成分および前記酸性ガスを前記アルカリ土類金属化合物に選択的に固定化させること、ついで、前記アルカリ土類金属化合物との接触反応で固定化されない高次フッ化物を含む反応混合物から、精留により四フッ化メタンと六フッ化エタンとを分離回収し、半導体製造プロセス用のPFCとしての再使用に供給可能とすること、を特徴とするパーフルオロコンパウンドのリサイクル利用方法。

IPC (6件)：

H01L 21/3065 ,  B01D 53/14 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/68 ,  C01B 9/08 ,  F25J 3/02

FI (6件)：

B01D 53/14 A ,  C01B 9/08 ,  F25J 3/02 B ,  H01L 21/302 101 G ,  B01D 53/34 134 C ,  B01D 53/34 ZAB

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ガス回収循環装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-356146   出願人：株式会社新潟鉄工所
• ハロゲン化物ガスの分解方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-190983   出願人：セントラル硝子株式会社
• 特開昭62-237929
  
• フロンの回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-060790   出願人：日本酸素株式会社

審査官引用 (4件)

• ガス回収循環装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-356146   出願人：株式会社新潟鉄工所
• ハロゲン化物ガスの分解方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-190983   出願人：セントラル硝子株式会社
• フロンの回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-060790   出願人：日本酸素株式会社
• 特開昭62-237929