特許
J-GLOBAL ID：201103064588838252

無機酸化物膜の処理方法、液晶パネルの製造方法

発明者：
寺尾 幸一

寺尾 幸一 について

, 
篠原 祐治

篠原 祐治 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-120770
公開番号（公開出願番号）：特開2006-301158
特許番号：特許第4670453号
出願日： 2005年04月19日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 斜方蒸着法により形成され、複数の細孔を有する無機酸化物膜に、少なくとも第1のアルコールを含有する第1の処理液を接触させる工程と、 前記無機酸化物膜の表面に、前記第1の処理液中のアルコールを化学結合させる工程と、 前記無機酸化物膜を、少なくとも前記第1のアルコールより分子量の小さい第2のアルコールを含有する第2の処理液中に浸漬する工程と、 該第2の処理液が設置された空間を減圧することにより、前記無機酸化物膜の細孔内に前記第2の処理液を浸透させる工程と、 前記無機酸化物膜の表面および細孔の内面に、前記第2の処理液中のアルコールを化学結合させる工程とを有することを特徴とする液晶分子用の配向膜の無機酸化物膜の処理方法。
IPC (2件)：
G02F 1/1337 ( 200 6.01) ,  C23C 14/24 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G02F 1/133 515 ,  C23C 14/24 S
引用特許：
審査官引用 (4件)
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