垂直型プローブカード

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西孝治 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-241903
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055119
特許番号：特許第3486841号
出願日： 2000年08月09日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】測定対象物の電気的諸特性の測定に用いられ、プローブが垂直に設けられた垂直型プローブカードにおいて、導電パターンが形成された主基板と、この主基板から垂直に垂下される複数本のプローブと、前記主基板の測定対象物側に設けられ、前記プローブを支持するプローブ支持部とを具備しており、前記プローブ支持部は、前記主基板に対して平行に設けられ、それぞれに開設された貫通孔にプローブを貫通させて支持する上側案内板及び下側案内板を有しており、前記下側案内板は、複数枚の基板を剥離可能に積層されたものであることを特徴とする垂直型プローブカード。

IPC (3件)：