特許
J-GLOBAL ID：201103064755217770

表面検査装置

発明者：
米田 賢治

米田 賢治 について


出願人/特許権者：
シーシーエス株式会社

シーシーエス株式会社 について


代理人 (1件)： 赤澤 一博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-177649
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039956
特許番号：特許第3472750号
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】フレネルレンズの焦点近傍に設けた発光手段から光を射出し、この光を前記フレネルレンズを通過させて収束する向きに屈折させ、このフレネルレンズで屈折させた光をハーフミラーによって反射させて、前記検査対象面の略全面に照射するとともに、その反射光を撮像手段に導くようにしたものであり、前記発光手段が、点光源またはそれに近い光源である点発光要素と、この点発光要素の周囲を取り囲むように配置されたリング状の面発光要素とを具備してなり、この点発光要素と面発光要素とを切り替えて発光させることが可能なものであることを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/84 ,  G01N 21/95 ,  H01L 21/66 ,  G11B 7/26
FI (4件)：
G01N 21/84 E ,  G01N 21/95 A ,  H01L 21/66 J ,  G11B 7/26
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 反射型光電センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-322152   出願人：オムロン株式会社
  • 特開昭62-103548
  • 品質検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-228326   出願人：ダックエンジニアリング株式会社

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