特許
J-GLOBAL ID：201103064923106180
排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
青山 葆
, 古川 泰通
, 前田 厚司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-344590
公開番号（公開出願番号）：特開2003-145467
特許番号：特許第3779910号
出願日： 2001年11月09日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】複数の排気処理済みパネルを収納したパネル収納マガジンを有する排気カートからロボットを用いてパネルを搬出するに際し、チップ管クリップの位置を検出し、このチップ管クリップの位置情報に基づきロボットハンドとチップ管クリップの各中心線を一致させてチップ管クリップの取外し処理を実行した後、チップ管の位置を検出し、このチップ管の位置情報に基づきチップ管封止・切断用のヒータ装置のチップ管への装着の可否を判断し、装着が可能であれば、前記装着の後、チップ管の封止・切断処理を実行し、その後、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し・移載処理を実行することを特徴とする排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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