耐蝕性部材およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 来間清志 , 杉村興作
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-277751
公開番号（公開出願番号）：特開2001-097791
特許番号：特許第4166386号
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】セラミックスからなる基体と、この基体の表面の少なくとも一部を被覆するフッ化膜とを備えている耐蝕性部材であって、前記セラミックスが、アルミナ、窒化アルミニウム、及びアルミニウムと一種以上の希土類元素との複合酸化物からなる群より選ばれた一種以上からなり、前記フッ化膜が気体状フッ素を含有する雰囲気中で前記基体を熱処理することによって生成しており、前記フッ化膜がフッ化アルミニウムからなる主結晶相を含み、前記フッ化膜の厚さが0.01-5.0μmであり、前記基体中の珪素の量が酸化珪素に換算して0.45重量%以下であることを特徴とする、耐蝕性部材。

IPC (1件)：