特許
J-GLOBAL ID：201103065372094832

感光性樹脂組成物

発明者：
高橋 修一

高橋 修一 について


出願人/特許権者：
クラリアント インターナショナル リミテッド

クラリアント インターナショナル リミテッド について


代理人 (2件)： 鐘尾 宏紀 ,  野口 武男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286418
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109147
特許番号：特許第3615972号
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】感光性物質と2種以上の屈折率の異なる樹脂を含有する感光性樹脂組成物において、前記屈折率の異なる樹脂が、ノボラック樹脂と、当該ノボラック樹脂との屈折率差が0.03以上である、ポリメチルメタクリレート、ポリエチルメタクリレート、ポリn-プロピルメタクリレート、ポリn-ブチルメタクリレート、ポリn-ヘキシルメタクリレート、ポリイソプロピルメタクリレート、ポリイソブチルメタクリレート、ポリt-ブチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリエチルアクリレート、ポリn-ブチルアクリレート、ポリビニルアセテート、ポリシクロヘキシルメタクリレート、ポリベンジルメタクリレート、ポリフェニルメタクリレート、ポリ1-フェニルエチルメタクリレート、ポリ2-フェニルエチルメタクリレート、ポリフルフリルメタクリレート、ポリベンジルアクリレート、ポリ2-クロルエチルアクリレート、ポリビニルベンゾエート、ポリビニルフェニルアセテート、ポリビニルクロルアセテート、ポリアクリロニトリル、ポリα-メチルアクリロニトリル、ポリメチルα-クロルアクリレート、ポリp-フルオロスチレン、ポリo,p-ジフルオロスチレン、ポリp-イソプロピルスチレン、ポリスチレン、ポリジフェニルメチルメタクリレート、ポリフェニルα-ブロモアクリレート、ポリナフチルメタクリレート、ポリビニルフタルイミド、ポリo-クロルスチレン、ポリペンタクロルフェニルメタクリレートおよびこれら重合体を構成する単量体から得られる共重合体から選ばれた少なくとも一種の重合体からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/032 ,  G03F 7/023 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/032 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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