特許
J-GLOBAL ID：201103065394833450

基板移送装置

発明者：
崎谷 文雄

崎谷 文雄 について


出願人/特許権者：
ローツェ株式会社

ローツェ株式会社 について


代理人 (1件)： 中西 次郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-271615
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093958
特許番号：特許第4067720号
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ポッドドア及びポッドケースからなるポッドの開閉操作を行うポッド開閉装置が設置された第1室と、その後方側に位置し、ポッド内に載置されたカセットと処理室の間で基板の移送を行う基板移送ロボットが設けられ、下方に向かってクリーンエアを吹き出すファンフィルタユニットが上部に設けられた第2室とが、前記基板の移送を行うための開口部を有する仕切板により分割された基板移送装置において、 前記ポッド開閉装置は、第1の昇降手段により昇降するポートプレートであって、中心部に開口が形成され、前記ポッドケースを受ける矩形枠形状のポートプレートと、第2の昇降手段により昇降するステージプレートであって、前記開口に嵌り込み、前記ポッドドアを受けるステージプレートと、前記ポッドドア及びポッドケース間の結合及び解除をする手段と、を有し、 前記ポートプレートは、前記第2室側に位置する第1の枠辺と、該第1の枠辺に対向する位置にある第3の枠辺と、該第1の枠辺の隣にある第2及び第4の枠辺と、から構成され、前記第1の枠辺には、上方向に直立し前記開口部を塞ぐシャッタであって、前記ポートプレートの上昇とともに上昇して前記開口部を開放するシャッタが取り付けられ、前記第1〜第4の枠辺のそれぞれには下方向に下がる背面ポートカバー、側面ポートカバー、前面ポートカバー及び側面ポートカバーが前記ステージプレートを囲んで取付けられ、前記背面ポートカバーの上部に切り抜き部を設けて、前記ポートプレートが上昇したときに、前記背面ポートカバーが前記開口部を塞がないようにし、さらに前記第3の枠辺には前面ポートカバーの内側に所定の間隔を開けて、複数の開口を有する整流板を配設し、前記ポートプレートが上昇したときに、前記第2室から前記開口部を通して流入するクリーンエアーが、前記ポートカバー及び前記ポットケースで形成される空間を経て、前記整流板と前記前面プレートとの空隙を通って下方に流れて外部に放出される構成とし、 前記ポッドドア及びポッドケース間の結合した状態で、前記第2の昇降手段により前記ステージプレートを下方に移動させることにより形成される前記ポッドドアと前記ステージプレートとの間隙をクリーンガスでパージする手段を設けたことを特徴とする基板移送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 L
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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