3次元形状測定光学系

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-279465
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083728
特許番号：特許第4066629号
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】楕円錐体状に広がる照明光を放射する点光源と、その点光源からの照明光をスリット状に結像させるスリット照明光学系と、を備えた3次元形状測定光学系であって、前記スリット照明光学系が、放射する照明光を平行光に変換するコリメータ光学系と、照明光をその楕円状の長軸方向にのみ拡大するアナモルフィックプリズム系と、照明光をその楕円状の短軸方向にのみ結像させるシリンドリカル光学系と、前記アナモルフィックプリズム系のプリズム面に照明光が入射する際の透過率が最大となるように照明光の偏光方向を変換する偏光方向変換素子と、を有することを特徴とする3次元形状測定光学系。

IPC (3件)：