特許
J-GLOBAL ID：201103066626714166
スイングノズルユニット及びそれを有する基板処理装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
竹尾 由重
, 仲石 晴樹
, 時岡 恭平
, 木村 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-209709
公開番号（公開出願番号）：特開2011-066426
出願日： 2010年09月17日
公開日（公表日）： 2011年03月31日
要約：
【課題】強度が強く、耐食性に優れるスイングノズルユニット及びそれを有する基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置は、基板が置かれるスピンヘッドを含む基板支持部材と、前記スピンヘッドの周りを囲むように設置されて基板上から飛散する処理流体を回収する処理容器と、スイング方式で回転し、前記スピンヘッドに置かれた基板に処理流体を噴射するスイングノズルユニット等を具備する。前記スイングノズルユニットは、処理流体供給チューブが位置する内部通路を形成する内側樹脂パイプと、前記内側樹脂パイプを囲むように設置される金属パイプと、前記金属パイプを囲むように設置される外側樹脂パイプからなるノズル体を有するノズル部と、前記ノズル部のθ軸回転及び昇降移動のための駆動部を具備する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
スイングノズルユニットにおいて、
処理流体供給チューブが位置する内部通路を提供するロッド状のノズル体を有するノズル部を含み、
前記ノズル体は、
内側樹脂パイプと、
前記内側樹脂パイプを囲むように設置される金属パイプと、
前記金属パイプを囲むように設置される外側樹脂パイプを含むことを特徴とするスイングノズルユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/304 643C
, B05C11/08
4F042AA08
, 4F042EB18
, 4F042EB24
, 4F042EB28
, 5F157AA73
, 5F157AB02
, 5F157AB14
, 5F157AB33
, 5F157AB90
, 5F157AC01
, 5F157AC13
, 5F157BB22
, 5F157BB32
, 5F157BB43
, 5F157CB14
, 5F157CB15
, 5F157CC02
, 5F157CF16
, 5F157CF62
, 5F157DB57
, 5F157DC51
, 5F157DC84
, 5F157DC88
