特許

J-GLOBAL ID：200903036151657028

ノズルおよびそれを備える基板処理装置

発明者： 長田 直之 ,  澤村 雅視 ,  長谷川 公ニ
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-219835
公開番号（公開出願番号）：特開2008-118109
出願日： 2007年08月27日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：

【課題】処理液から基板への放電の発生が抑制されるとともに、小型かつ軽量で十分な強度が確保されたノズルおよびそれを備える基板処理装置を提供する。【解決手段】ノズル装置のノズル60aは、水平方向に延びるアーム管部と、アーム管部の他端から下方に湾曲するように形成された下流管部とを有する。ノズル60aにおいては、金属管91の内部に第1の樹脂管92が挿通され、第2の樹脂管93の内部に金属管91が挿通されている。ボス94が第2の樹脂管93の内部の金属管91の先端部に装着されている。ノズル60aの先端部においては、第1の樹脂管92の外周面、第2の樹脂管93の端面およびボス94の端面が溶接用樹脂95により溶接されている。このようにして、金属管91は、第1の樹脂管92、第2の樹脂管93、ボス94および溶接用樹脂95により確実に被覆されている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

所定の支持部材に支持され、基板に処理液を供給するためのノズルであって、 前記処理液が内部を流通し、前記処理液を吐出する吐出口を端部に有しており、所定の樹脂材料からなる第1の樹脂管と、 前記第1の樹脂管の外周を覆うように設けられ、所定の金属材料からなる金属管と、 を備えることを特徴とするノズル。

IPC (4件)：

H01L 21/304 ,  G11B 5/84 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133

FI (4件)：

H01L21/304 643C ,  G11B5/84 Z ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500

Fターム (25件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H090JC19 ,  5D112AA02 ,  5D112BA09 ,  5D112GA08 ,  5F157AB14 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157BB23 ,  5F157BB32 ,  5F157BE23 ,  5F157BE33 ,  5F157BE42 ,  5F157BE43 ,  5F157BE44 ,  5F157BE45 ,  5F157BE46 ,  5F157BE48 ,  5F157CB02 ,  5F157CB03 ,  5F157CF32 ,  5F157CF62 ,  5F157DC90

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-368250   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (4件)

• ウエット処理ノズルおよびウエット処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-155922   出願人：アルプス電気株式会社
• ディスペンス用ノズル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-260568   出願人：東ソー株式会社
• 光ディスク製造用スピンコート装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-352406   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 基板処理方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-279201   出願人：大日本スクリーン製造株式会社