撥水性酸化物皮膜の形成法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：西義之 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037979
公開番号（公開出願番号）：特開平8-231247
特許番号：特許第3395928号
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガラス基板上に、シリコンアルコキシド類のアルコール溶液に、水、および有機高分子を混合した第一の調製液を塗布、乾燥し 200°C以上に加熱してシリカ膜を形成した後、フルオロアルキルシランのアルコール溶液からなる第二の調製液を塗布、乾燥し 400°C以上で熱処理してなる撥水性酸化物皮膜の形成法であって、前記第一の調製液における水/金属アルコキシド類のモル比が5〜10であることを特徴とする撥水性酸化物皮膜の形成法。

IPC (3件)：

C03C 17/34 , B32B 17/06 , C09K 3/18 101

FI (3件)：

C03C 17/34 Z , B32B 17/06 , C09K 3/18 101

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