表面エネルギー制御によるコーティング膜の低摩擦化法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-257193
公開番号（公開出願番号）：特開2003-073858
特許番号：特許第3632076号
出願日： 2001年08月28日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】部材表面に複合材料からなるコーティング膜を成膜している間に、部材表面の温度を変化させることで部材表面の表面エネルギーを調整しながらコーティング膜を成膜した後、このコーティング膜に対して紫外パルスレーザー光を照射することを特徴とするコーティング膜の低摩擦化法。

IPC (2件)：