特許

J-GLOBAL ID：201103067463410314

基板の試験方法

発明者： ダグラス・ディー・レフィバー ,  ラリー・ジェームズ・ボストス
出願人/特許権者： フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 桑垣 衛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136609
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031220
特許番号：特許第4435328号
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板(17)をプローブする方法であって: 第1センサ(36)をプローブ・システムのチャック(16)上に有する測定ツール(30)を配置する段階; 前記第1センサ(36)と前記プローブ・システムにおける検査ヘッド(22)のインターフェース(28)表面との距離を測定する段階であって: 前記第1センサ(36)を用いて測定を行い; この段階の間前記第1センサ(36)を前記表面から離間させておく段階; 前記チャック(16)から前記測定ツール(30)を取り外す段階; 前記測定ツール(30)を取り外した後、前記チャック(16)上に基板(17)を配置する段階;および 前記プローブ・システムを用いて前記基板(17)をプローブする段階; から成ることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01R 1/06 ( 200 6.01) ,  G01R 31/28 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ウエハプローバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-199136   出願人：三菱電機株式会社
• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-176603   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-232503   出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (3件)

• ウエハプローバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-199136   出願人：三菱電機株式会社
• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-176603   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-232503   出願人：東京エレクトロン株式会社