特許
J-GLOBAL ID：201103067466965961
半導体可変コンデンサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小橋 正明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-007026
公開番号（公開出願番号）：特開平11-261015
特許番号：特許第4602494号
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体装置の一部として形成されている可変コンデンサにおいて、
(a)半導体基板、
(b)前記半導体基板によって支持されている絶縁層、
(c)前記可変コンデンサの第一プレートを画定する前記絶縁層上に配設されている第一導体、
(d)前記絶縁層上に配設されており前記可変コンデンサの第二プレートを画定する第二導体であって、前記第一導体との間にギャップを画定するために前記第一導体から離隔されている第二導体、
(e)前記半導体基板によってその周辺部が支持されている可撓性メンブレンであって、誘電体物質を有しており且つ前記可変コンデンサの容量を変化させるために前記第一及び第二導体の間のギャップ内へ延在し且つ前記半導体基板に垂直な方向に移動可能な部分を有する可撓性メンブレン、
を有することを特徴とする可変コンデンサ。
IPC (3件)：
H01L 27/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/822 ( 200 6.01)
, H01G 7/00 ( 200 6.01)
H01L 27/04 P
, H01G 7/00 Z
, H01L 27/04 C
出願人引用 (5件)
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特開昭57-125355
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半導体加速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-097708
出願人：日本電装株式会社
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容量式加速度センサおよび作動法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-237104
出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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審査官引用 (7件)
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