特許
J-GLOBAL ID：201103067636119858

イオン源用電極板の製造方法

発明者：
澁谷 純市

澁谷 純市 について

, 
市橋 公嗣

市橋 公嗣 について

, 
奥山 利久

奥山 利久 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-011078
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208063
特許番号：特許第3802257号
出願日： 1999年01月19日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】プラズマ中のイオンを加速して高速イオンビームを生成させるイオン源用電極板の製造方法において、 冷媒を流すための複数の冷却溝を一方の面に有する溝付銅板を形成するとともに、前記冷却溝を有する面に、ろう箔を介して、前記冷却溝間の所定位置に予め複数のイオンビーム引き出し孔の下穴を穿設した銅平板を積層一体化し、前記一体化した積層体の前記下穴の位置に所要のイオンビーム引き出し孔を穿設することを特徴とするイオン源用電極板の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02 ( 200 6.01) ,  H01J 27/02 ( 200 6.01) ,  H01J 9/14 ( 200 6.01) ,  H01J 37/08 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01J 9/02 S ,  H01J 27/02 ,  H01J 9/14 Z ,  H01J 37/08
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • イオン加速電極板及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-132525   出願人：株式会社東芝
  • 特開昭52-079759
  • 特開昭63-028447
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審査官引用 (3件)

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