特許
J-GLOBAL ID：201103068240444922

形状検出装置

発明者：
岡本 裕昭

岡本 裕昭 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-006224
公開番号（公開出願番号）：特開2011-145171
出願日： 2010年01月14日
公開日（公表日）： 2011年07月28日
要約：
【課題】ウェハの外周端部を全周にわたって短時間のうちに形状検出できる形状検出装置を提供する。【解決手段】形状検出装置1は、ウェハ保持部20に支持されたウェハ10の外周端部形状を検出する装置であって、ウェハ10の外周端部に対して径方向外側の所定位置に配置されて外周端部を照明する拡散照明部35と、ウェハ10の表面に直交する方向に配置されて外周端部に対向し、拡散照明部35から照射されて外周端部において反射した反射光の径方向に沿った輝度情報を検出する撮像部30と、撮像部30において検出された輝度情報を基にして外周端部形状を算出する演算制御部40とを備えて構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
支持部に支持された円盤状の被検物の外周端部形状を検出する形状検出装置であって、 前記外周端部に対して径方向外側の所定位置に配置されて前記外周端部を照明する照明部と、 前記被検物に対して前記被検物の表面に直交する方向に配置されて前記外周端部に対向し、前記照明部から照射されて前記外周端部において反射した反射光の前記径方向に沿った輝度情報を検出する検出部と、 前記検出部において検出された前記輝度情報を基にして前記外周端部形状を算出する演算部とを備えて構成されることを特徴とする形状検出装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24
FI (1件)：
G01B11/24 K
Fターム (28件)：
2F065AA49 ,  2F065AA52 ,  2F065AA53 ,  2F065BB03 ,  2F065BB05 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF42 ,  2F065FF43 ,  2F065GG07 ,  2F065GG13 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL49 ,  2F065LL59 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ37 ,  2F065QQ42
引用特許：
審査官引用 (4件)
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