特許
J-GLOBAL ID：200903041803785272
形状測定装置,形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-144185
公開番号（公開出願番号）：特開2008-298546
出願日： 2007年05月30日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
【課題】薄片試料(ウェーハ等)のエッジプロファイルを高精度に測定すること。【解決手段】LED駆動回路11により,1つの平面内の複数の位置各々に配置された複数のLED12を順次切り替えて点滅させることにより,ウェーハ1の測定部位Pに対し,順次異なる照射角度で光を照射し,その照射ごとに,計算機30’により,測定部位Pからの反射光の輝度分布を表す画像データを,2つのカメラ20R,20Lを通じて取得し,さらに,計算機30’により,各LED12に対応した画像データ(反射光の輝度分布)と光の照射角度φとに基づいて,反射光の輝度がピークとなるときの光の照射角度を推定することにより,測定部位Pの表面角度の分布及びエッジプロファイルの演算を行い,それらエッジプロファイルを,厚み測定システムにより測定したウェーハ1の厚みに基づいてつなぎ合せることにより,測定部位Pの表面形状を測定する。【選択図】図13
請求項（抜粋）：
薄片試料の端面の形状を測定する形状測定装置であって,
一の平面内の複数の位置各々で光源を点灯させることにより,前記薄片試料における端面及びその近傍の厚み方向両側の面を含む測定部位に対して順次異なる照射角度で光を照射する第1の光照射手段と,
前記測定部位に対して各々異なる方向に配置され,前記第1の光照射手段の光照射による前記測定部位からの略正反射方向への反射光の一次元若しくは二次元の輝度分布を検出する複数の光検出手段と,
前記第1の光照射手段により順次異なる照射角度で光が照射されるごとに前記測定部位からの反射光の輝度分布を前記光検出手段を通じて取得する反射光輝度取得手段と,
複数の前記反射光輝度取得手段各々により取得された複数の前記反射光の輝度分布ごとに,該反射光の輝度分布及び前記第1の光照射手段により照射された光の照射角度に基づいて,前記測定部位の一部の領域の表面角度の分布を演算する表面角度分布演算手段と,
前記測定部位における前記厚み方向両側の面の部分について前記薄片試料の厚みを測定する厚み測定手段と,
前記表面角度分布演算手段による前記一部の領域の表面角度の分布の演算結果又は該演算結果に基づく前記一部の領域の表面形状各々を,前記薄片試料の厚み方向におけるそれらの相対位置を前記厚み測定手段の測定結果に基づき調整してつなぎ合わせる処理を実行することにより,前記測定部位全体の表面角度の分布又は表面形状を演算するつなぎ合わせ演算手段と,
を具備してなることを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 K
, G01B11/06 H
2F065AA19
, 2F065AA24
, 2F065AA30
, 2F065AA35
, 2F065AA51
, 2F065AA53
, 2F065BB03
, 2F065CC19
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF42
, 2F065GG02
, 2F065GG03
, 2F065GG06
, 2F065GG07
, 2F065GG13
, 2F065GG17
, 2F065HH02
, 2F065HH04
, 2F065HH05
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL59
, 2F065NN02
, 2F065QQ18
, 2F065QQ42
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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