特許
J-GLOBAL ID：201103068320954212

検査装置

発明者：
武 邦彦

武 邦彦 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (3件)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-200364
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014056
特許番号：特許第4483039号
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検査対象の画像をもとに上記検査対象に生じた欠陥を検査する検査装置において、 上記検査対象の画像を撮像し、画像データを生成する画像撮像手段と、 上記画像撮像手段により撮像されて生成された検査対象の画像データを処理する画像処理手段とを備え、 上記検査対象の画像データは、上記検査対象に生じた欠陥がある領域を撮像した欠陥画像データと、欠陥のない領域を撮像した参照画像データからなり、 上記画像処理手段は、上記画像撮像手段により撮像されて生成された検査対象の画像データから欠陥を検出する前処理として、上記欠陥画像データ及び上記参照画像データのデータ量と、該画像処理手段の処理能力とを比較し、 該処理能力に対して該データ量が大きい場合、該画像の特徴を損なわずに、上記欠陥画像データ及び上記参照画像データのデータ量が該処理能力以下となるように、上記欠陥画像データ及び上記参照画像データの縦横を所定の間隔をおいてデータを取り出し、該取り出されたデータを再び画像化するサンプリング処理を行い、次いで、サンプリング処理が行われた該欠陥画像データ及び該参照画像データのぼけの度合いを判断し、該ぼけの度合いが小さい方の画像データのぼけの度合いを、該ぼけの度合いが大きい方の画像データのぼけの度合いに合わせるように画像をぼかす処理を行い、 該処理能力に対して該データ量が小さい場合、該サンプリング処理を施すことなく、上記欠陥画像データ及び上記参照画像データのぼけの度合いを判断し、該ぼけの度合いが小さい方の画像データのぼけの度合いを、該ぼけの度合いが大きい方の画像データのぼけの度合いに合わせるように画像をぼかす処理を行う検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ( 200 6.01) ,  G06T 1/00 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01N 21/956 A ,  G06T 1/00 305 A
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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