特許
J-GLOBAL ID:201103068740715418
熱処理装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金坂 憲幸
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-142881
公開番号(公開出願番号):特開2002-343781
特許番号:特許第3543963号
出願日: 2001年05月14日
公開日(公表日): 2002年11月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】躯体内に熱処理炉を設置し、躯体内から躯体外に配管した熱処理炉の排気系の配管に主弁、第1の補助弁および第2の補助弁を並列に備えた熱処理装置であって、前記主弁の外郭を形成する本体に入口側と出口側を連通するバイパス通路を2本形成し、前記主弁の本体に一方のバイパス通路を開閉する第1の補助弁と、他方のバイパス通路を開閉する第2の補助弁とを設け、前記主弁の本体には自立用の固定板が設けられ、該固定板を介して主弁の本体が前記躯体に固定されていることを特徴とする熱処理装置。
IPC (5件):
H01L 21/31
, C23C 16/44
, F27B 5/16
, F27D 19/00
, H01L 21/22
FI (5件):
H01L 21/31 B
, C23C 16/44 Z
, F27B 5/16
, F27D 19/00 Z
, H01L 21/22 501 S
引用特許:
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