MgOを主成分とする蒸着材及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須田正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058144
公開番号（公開出願番号）：特開平11-323533
特許番号：特許第3470633号
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】相対密度が95%以上のMgO焼結体であって、平均結晶粒径が0.5〜100μmの結晶粒子を有するMgOマトリックス中に、希土類酸化物粒子が1〜30体積%分散されたMgOを主成分とする蒸着材。

IPC (2件)：