高純度合成石英粉の製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：本多一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375206
公開番号（公開出願番号）：特開2001-192223
特許番号：特許第4504491号
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水ガラスを脱アルカリ処理してシリカ水溶液を得る第1工程と、第1工程で得られたシリカ水溶液に酸化剤と酸とを加えた後、水素型陽イオン交換樹脂に通す第2工程と、第2工程で得られたシリカ水溶液をゲル化させシリカ粒子を得る第3工程と、ゲル化したシリカを過酸化水素を含有する酸の水溶液で洗浄する第4工程と、洗浄したシリカを焼成する第5工程と、を包含することを特徴とする高純度合成石英粉の製造方法。

IPC (2件)：