特許
J-GLOBAL ID:201103069349377326

制御装置、温度調節器および熱処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 和秀
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-215061
公開番号(公開出願番号):特開2000-187514
特許番号:特許第3278807号
出願日: 1999年07月29日
公開日(公表日): 2000年07月04日
請求項(抜粋):
【請求項1】 制御対象の物理状態をそれぞれ検出する複数の検出手段からの情報を、前記物理状態の勾配を示す情報に変換するとともに、物理状態の代表状態を示す情報に変換する変換手段と、前記変換手段からの各情報が個別的に与えられる複数の状態制御手段と、前記各状態制御手段からの操作信号を、複数の操作手段に、各状態制御手段による制御が、他の状態制御手段による制御に与える影響をなくす又は小さくするように配分する配分手段と、を備えることを特徴とする制御装置。
IPC (4件):
G05D 23/19 ,  G05B 11/32 ,  H01L 21/22 ,  H05B 3/00 310
FI (4件):
G05D 23/19 G ,  G05B 11/32 A ,  H01L 21/22 Z ,  H05B 3/00 310 C
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 熱処理装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-337661   出願人:コマツ電子金属株式会社
  • 特開平1-267021
  • 加圧槽加温制御方法及び装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-126652   出願人:三菱重工業株式会社
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