特許
J-GLOBAL ID：201103069562890894
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
天野 広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308087
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127121
特許番号：特許第3623413号
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも一つのニードルを有するプローブカードと、 前記ニードルに光を照射する光源と、前記ニードルを撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニードルの先端の位置を認識する画像認識手段と、 前記画像認識手段による認識結果に基づき、前記ニードルの先端を被検査体に接触させるべく該被検査体と前記プローブカードとを相対的に移動させる移動機構と、 を備えるプローバにおける前記プローブカードであって、 前記画像認識手段により前記ニードルの先端部のみを画像認識できるように、前記ニードルは、該ニードルの前記先端部以外の部分の表面は光を反射しないように構成されている一方で、前記先端部のみは表面は光を反射するように構成されていることを特徴とするプローブカード。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01B 11/00
, G01R 1/06
, G01R 1/073
, G01R 31/28
H01L 21/66 B
, G01B 11/00 H
, G01R 1/06 E
, G01R 1/073 E
, G01R 31/28 K
