特許
J-GLOBAL ID：201103069655165308

試料ホルダおよび走査型透過電子顕微鏡

発明者：
竹口 雅樹

竹口 雅樹 について

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成瀬 達雄

成瀬 達雄 について

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出口 俊二

出口 俊二 について

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石川 貴己

石川 貴己 について


出願人/特許権者：
独立行政法人物質・材料研究機構

独立行政法人物質・材料研究機構 について

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日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (2件)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-039978
公開番号（公開出願番号）：特開2011-175908
出願日： 2010年02月25日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：
【課題】試料が傾斜した状態で、共焦点暗視野STEM像、3次元断層像を得られる試料ホルダおよび走査型透過電子顕微鏡を提供することを提供することを課題とする。【解決手段】試料が載置される試料載置部21をチューブピエゾ素子39によりXYZ軸方向に駆動するXYZ駆動機構を有した試料ホルダ5に、試料載置部21の試料をY軸を中心として傾斜させる傾斜機構41、51、53と、傾斜機構41、51,53を駆動するモータと、XYZ駆動機構の動きが傾斜機構41、51、53を介してモータへ伝達するのを遮断するクラッチ51c、61aとを設ける。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
試料が載置される試料載置部をピエゾ素子によりXYZ軸方向に駆動するXYZ駆動機構を有した試料ホルダにおいて、 前記試料ホルダの軸方向をX軸、 電子ビームの光軸方向をZ軸、 前記X軸、前記Y軸と直交する方向をY軸とした場合、 前記試料載置部の試料を前記Y軸を中心として傾斜させる傾斜機構と、 該傾斜機構を駆動するモータと、 前記XYZ駆動機構の動きが前記傾斜機構を介して前記モータへ伝達するのを遮断するクラッチと、 を有することを特徴とする試料ホルダ。
IPC (1件)：
H01J 37/20
FI (2件)：
H01J37/20 C ,  H01J37/20 A
Fターム (3件)：
5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001CC03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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