試料ホルダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-279439
公開番号（公開出願番号）：特開2005-044700
出願日： 2003年07月24日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】互いに直交する2軸回りに試料を傾斜可能で且つ試料の表面、裏面の両方を観察できるようにすること。【解決手段】ホルダ外筒11の内端部に設けられた外筒内端フレーム11aと、外筒内端フレーム11aに支持され且つ前記Y軸方向に延びる第1傾斜軸L1回りに傾斜可能な第1傾斜体28と、第1傾斜軸L1よりも内端側に配置されて前記外筒内端フレーム11aに支持され且つ前記Y軸方向に延びる第2傾斜軸L2回りに傾斜可能な第2傾斜体29と、第2傾斜体29により第2傾斜軸L2に垂直な軸回りに回転可能に支持され且つ内端に試料台51,59を支持する試料台支持軸49と、ホルダ外筒11内部を貫通してホルダ外筒11によりスライド可能且つ回転可能に支持された可動軸12と、可動軸12の回転時に前記試料台支持軸49を180°以上回転させることが可能且つ湾曲可能な回転用連結部材46とを備えた試料ホルダ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

次の構成要件(A01)〜(A09)を備えた試料ホルダ、 (A01)互いに垂直な上下に延びるZ軸、前後に延びるX軸、および左右に延びるY軸のうちのZ軸に沿った荷電粒子線の通路の外側を囲むように配置された鏡筒をX軸方向に貫通する筒状のホルダ装着部材により、X軸回りに回転可能且つX軸に沿ってスライド可能に支持されたホルダ外筒、 (A02)前記ホルダ外筒の内端部に設けられた外筒内端フレーム、 (A03)前記外筒内端フレームに支持され且つ前記Y軸方向に延びる第1傾斜軸回りに傾斜可能な第1傾斜体、 (A04)前記第1傾斜軸よりも内端側に配置されて前記外筒内端フレームに支持され且つ前記Y軸方向に延びる第2傾斜軸回りに傾斜可能な第2傾斜体、 (A05)前記第2傾斜体により前記第2傾斜軸に垂直な軸回りに回転可能に支持され且つ内端側部分により試料を支持する試料台支持軸、 (A06)前記ホルダ外筒内部を貫通して前記ホルダ外筒によりスライド可能且つ回転可能に支持された可動軸、 (A07)前記可動軸が回転した時に回転せず且つスライドした時に連動してスライドするスライド連結部材と、前記スライド連結部材のスライド移動に応じて前記第1傾斜体を傾斜させる傾斜連結部材とを有するスライド時傾斜用連結部材、 (A08)前記第1傾斜体の傾斜に連動して前記第2傾斜体を傾斜させる傾斜体連結部材、 (A09)前記可動軸の回転時に前記試料台支持軸を180°以上回転させることが可能且つ湾曲可能な回転用連結部材。

IPC (1件)：

H01J37/20

FI (1件)：

H01J37/20 A

Fターム (1件)：

5C001AA01

引用特許：

出願人引用 (9件)

試料ホルダ、試料保持部材装着ホルダおよび試料保持部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-358082 出願人：日本電子株式会社
顕微分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-312488 出願人：日本電子株式会社
特開平2-239560

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