特許
J-GLOBAL ID：201103069679682460

切削装置

発明者：
馬橋 隆之

馬橋 隆之 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174076
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007058
特許番号：特許第4447074号
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物を収容したカセットが載置されるカセット領域と、該カセット領域に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、該搬出手段によって搬出された被加工物をチャックテーブルに載置する被加工物載置領域と、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段が配設される切削領域と、該切削手段によって切削された被加工物を洗浄する洗浄手段が配設される洗浄領域と、該洗浄手段によって洗浄された被加工物を該カセット内に搬入する搬入手段とから構成される切削装置であって、 該カセット領域と該被加工物載置領域と該洗浄領域とはY軸方向に一直線上に配設され、該被加工物載置領域の上部には、該Y軸方向にのびると共にそれぞれが独立して該Y軸方向に直交するX軸方向に移動可能な一対のガイドレールを有する仮置き手段が設けられており、該被加工物載置領域と洗浄領域との間で被加工物を搬送できる搬送手段が配設され、 該切削領域は該X軸方向に該被加工物載置領域と一直線上になるように配設され、 該切削領域に配設される該切削手段には、ブレードが装着されるスピンドルと該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングとから構成されたスピンドルユニットを備え、該スピンドルユニットは、該スピンドルの軸心がY軸方向に向くように配設され、 該チャックテーブルは該被加工物載置領域から該切削領域までをX軸方向に移動する構成とした切削装置。
IPC (1件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/304 611 S ,  H01L 21/304 648 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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