特許
J-GLOBAL ID：200903069062127266

UV照射装置及び該UV照射装置を搭載したダイシング装置

発明者：
石綿 総一

石綿 総一 について

, 
井上 高明

井上 高明 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261448
公開番号（公開出願番号）：特開平11-102956
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 UVテープを用いてフレームに支持させた半導体ウェーハを、所定の加工を行った後に、UVテープから剥離するに当たり、UVテープにUV照射を行って粘着性を低下させるものであるが、光源側の構成からして照射面の光度を均一にできない問題点があり、それによって部分的に不均一な粘着性が残っていて剥離作業に不都合が生ずるのを防止すること。【解決手段】 少なくともウェーハを保持する保持手段と、紫外線を照射するUV照射手段とを含み、前記保持手段は、ウェーハを保持しUVテープ側を前記UV照射手段に対面させて、UV照射手段と相対的に揺動及び/または回転する構成としたUV照射装置、並びに、そのUV照射装置を所要位置に搭載したダイシング装置であり、UV照射手段から照射される光に部分的な照射斑があっても揺動及び/又は回転によって照射面側、即ちUVテープ面において均等化され、UVテープの粘着性の低下が全面的に均等に行われるので、その後の剥離またはチップのピックアップ作業において支障を来すことがなくなる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハに貼着したUVテープに紫外線を照射して粘着性を低下させるUV照射装置であり、該UV照射装置は、少なくともウェーハを保持する保持手段と、紫外線を照射するUV照射手段とを含み、前記保持手段は、ウェーハを保持しUVテープ側を前記UV照射手段に対面させて、UV照射手段と相対的に揺動及び/または回転することを特徴とするUV照射装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  C08J 7/00 304 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
H01L 21/68 N ,  C08J 7/00 304 ,  H01L 21/78 P
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • ダイシング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-202518   出願人：株式会社ディスコ
  • 特開昭62-189112
  • 紫外線照射装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-350259   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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