特許

J-GLOBAL ID：201103070177905820

脈動低減装置付きポンプ

発明者： 西尾 清志 ,  今西 良 ,  湊 洋二 ,  桂 将義 ,  川村 仁 ,  藤井 睦
出願人/特許権者： 日本ピラー工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 孝一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-302485
公開番号（公開出願番号）：特開2001-123959
特許番号：特許第3205909号
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 液体の流入路及び流出路を備えたポンプヘッド構成壁と、上記ポンプヘッド構成壁の一側部に配設されたケーシング内を軸線方向に沿って伸縮変形可能な樹脂製の第1ベローズと、この第1ベローズを駆動伸縮変形運動させるエアシリンダ部と、上記第1ベローズの内側に該第1ベローズの伸縮変形運動に伴い交互に開閉作動して液体の吸入作用及び吐出作用を行う逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備えてなるエア駆動型の往復動ポンプ部と、上記ポンプヘッド構成壁の他側部に配設されたケーシング内に配設されて伸縮変形可能な樹脂製の第2ベローズと、この第2ベローズの内側に形成されて上記ポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出される液体を一時的に貯溜可能にする液体室と、上記第2ベローズの外側に上記液体室に対し隔離形成されて脈動低減用の空気が封入される空気室とを備えて、上記第2ベローズの伸縮変形運動に伴う上記液体室の容量変化により上記ポンプ作用室から吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収させるように構成した脈動低減部と、を備えている脈動低減装置付きポンプにおいて、上記第2ベローズの伸び率を、上記第1ベローズの伸び率よりもその伸び率の比(第2ベローズの伸び率/第1ベローズの伸び率)が10を越えないように大きく設定してあることを特徴とする脈動低減装置付きポンプ。

IPC (2件)：

F04B 43/08 ,  F04B 11/00

FI (2件)：

F04B 43/08 A ,  F04B 11/00 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体製造装置用ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-002934   出願人：日本ピラー工業株式会社
• プランジャポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-066163   出願人：株式会社ゼクセル