特許
J-GLOBAL ID：201103070192365955
レーザ光を用いた精密形状測定方法
出願人/特許権者：
三菱マテリアル神戸ツールズ株式会社
, 三菱マテリアル神戸ツールズ株式会社 について
株式会社牧野フライス製作所
株式会社牧野フライス製作所 について
代理人 (7件)： 志賀 正武 , 高橋 詔男 , 渡邊 隆 , 青山 正和 , 鈴木 三義 , 西 和哉 , 村山 靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-317197
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121123
特許番号：特許第3540301号
出願日： 2001年10月15日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】測定対象物に隣接して基準プレートを設けて、この基準プレートと上記測定対象物との間に延びるスリットを形成し、このスリット上における上記測定対象物の被測定部位に向けて、該スリットが延びる方向に薄くしたシート状のレーザ光を照射することにより、上記被測定部位においてスリットを通過した上記レーザ光がなす回折パターンを、上記シート状のレーザ光の幅方向に延びるラインセンサによって計測するとともに、上記スリット上の複数の被測定部位において上記回折パターンを測定するに際し、このラインセンサを初め、上記レーザ光を発するレーザ光源、レンズ、および遮蔽板を上記スリットに沿うようにして一体に移動させることを特徴とするレーザ光を用いた精密形状測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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