角速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 内藤浩樹 , 永野大介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-400138
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194544
特許番号：特許第3843839号
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一対の駆動電極および一対の検出電極を設けた振動体と、この振動体における一対の駆動電極および一対の検出電極を延出させて形成した一対の駆動電極延出部および一対の検出電極延出部を有する固着部とからなる音叉と、この音叉における固着部を固着するとともに少なくとも4つの端子を挿通させた基台と、この基台における端子と前記音叉の固着部における駆動電極延出部あるいは検出電極延出部とを電気的に接続するワイヤー線とを備え、前記音叉の振動体における駆動電極と検出電極との間隙を略同一にすることにより、駆動電極と両隣の検出電極との間に生じる静電容量を略同一にするとともに、音叉における固着部に駆動電極を延出させて形成した駆動電極延出部の両隣に、この駆動電極延出部との間隙が略同一になるように検出電極延出部を延出形成することにより、駆動電極延出部と両隣の検出電極延出部との間に生じる静電容量を略同一にした角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ( 200 6.01) , G01P 9/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

出願人引用 (5件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-076204 出願人：松下電器産業株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-260419 出願人：松下電器産業株式会社
角速度センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-314862 出願人：松下電器産業株式会社

全件表示

前のページに戻る