電子放出素子、電子源及び画像形成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺敬介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303336
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311579
特許番号：特許第3595744号
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基体と、第一の間隙を置いて該基体上に配置された第一および第二のカーボン膜と、該第一および第二のカーボン膜のそれぞれに電気的に接続された第一および第二の電極とを有し、少なくとも前記第一の間隙内に位置する前記基体が、SiとOとNとを含み、表面にシリカを主成分とする層を有することを特徴とする電子放出素子。

IPC (3件)：