カーボンスパッタ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：清水善廣 , 阿部伸一 , 辻田幸史 , 田代作男 , 町田悦夫 , 打揚洋次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-249190
公開番号（公開出願番号）：特開2001-073115
特許番号：特許第4233702号
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空処理室内に基板と対向させたカソード上にカーボン又はカーボンとシリコンの複合材のターゲットを設け、該ターゲットの周囲をアースシールドで覆うと共に該ターゲットの前方周囲を防着板で囲み、該ターゲットの前方に発生するプラズマにより該ターゲットをスパッタして該基板にカーボン薄膜を形成する装置に於いて、防着板を外板とその内側に沿わせた多孔金属板とで構成し、該アースシールド及び防着板の開口縁部及び屈曲部を曲率半径0.3mm以上の丸形に形成すると共に該アースシールド及び防着板に表面凹凸を有するコーティング層を形成したことを特徴とするカーボンスパッタ装置。

IPC (3件)：