特許
J-GLOBAL ID：201103071270003492
酸素センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 清路
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306018
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124726
特許番号：特許第4112763号
出願日： 1999年10月27日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 酸素イオン伝導性を有する固体電解質体の一面に白金電極を設ける工程と、
該白金電極の表面に、元素周期表のIB族、IIB族、IIIB族、IVB族、VB族およびVIB族の元素から選ばれる少なくとも1種のドープ元素(但し、窒素および酸素を除く)を単体金属として付着させる工程と、
該ドープ元素の単体金属が付着した上記白金電極を、900〜1500°Cの不活性雰囲気下で加熱処理して検出電極を得る工程と、を備える酸素センサの製造方法であって、
上記ドープ元素を単体金属として付着させる工程は、
上記白金電極の表面に、上記ドープ元素を含む化合物であるドープ元素化合物、上記ドープ元素の酸化物であるドープ元素酸化物および上記ドープ元素の単体金属から選択される少なくとも一種のドープ元素源を付着させる付着工程と、
上記付着工程により付着された上記ドープ元素源を酸化処理してドープ元素酸化物とする酸化工程と、
上記酸化工程により形成された上記ドープ元素酸化物を還元処理して上記ドープ元素の単体金属とする還元工程と、を備えることを特徴とする酸素センサの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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