特許
J-GLOBAL ID：201103071482479241

パッドコンディショナの製造方法

発明者：
門村 和徳

門村 和徳 について

, 
福島 健二

福島 健二 について

, 
旭野 肇

旭野 肇 について


出願人/特許権者：
株式会社アライドマテリアル

株式会社アライドマテリアル について


代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-273219
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079470
特許番号：特許第3440064号
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 台金と、前記台金の表面上に形成されためっき層と、前記めっき層によって前記台金の表面に固着されたダイヤモンド砥粒と、前記めっき層の表面を被覆するように前記めっき層の表面上に形成された樹脂層とを備え、前記樹脂層は2層以上の積層からなる、パッドコンディショナの製造方法であって、前記台金の表面に前記めっき層により前記ダイヤモンド砥粒を固着する工程と、前記めっき層の表面上に樹脂を塗布し、半焼成する工程を繰返すことによって、前記樹脂層を構成する最下層から最上層直下までの層の各々の層を形成する工程と、前記最上層直下の層の上に最上層を形成する樹脂を塗布した後、前記樹脂層を構成する最下層から最上層までの各々の層を完全焼成して前記2層以上の積層を形成する工程とを備えた、パッドコンディショナの製造方法。
IPC (8件)：
B24D 7/02 ,  B24B 37/00 ,  B24B 53/12 ,  B24D 3/00 320 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/06 ,  B24D 3/28 ,  H01L 21/304 622
FI (8件)：
B24D 7/02 B ,  B24B 37/00 A ,  B24B 53/12 Z ,  B24D 3/00 320 B ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/06 B ,  B24D 3/28 ,  H01L 21/304 622 M
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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