特許

J-GLOBAL ID：201103071968129927

反射防止膜形成組成物

発明者： 河口 和雄 ,  齋藤 明夫 ,  大田 芳久 ,  下川 努
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220429
公開番号（公開出願番号）：特開2001-040293
特許番号：特許第4288776号
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】繰返し単位として下記式(3)で示される構造単位を有する重合体および溶剤を含有することを特徴とする反射防止膜形成組成物。

IPC (5件)：

C09D 161/18 ( 200 6.01) ,  G03F 7/11 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  C08L 61/18 ( 200 6.01) ,  C08G 10/02 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C09D 161/18 ,  G03F 7/11 503 ,  H01L 21/30 574 ,  C08L 61/18 ,  C08G 10/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 反射防止コーティング組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-000065   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 反射防止膜形成組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-325670   出願人：ジェイエスアール株式会社