特許

J-GLOBAL ID：201103072670663056

圧電薄膜共振子及び圧電薄膜共振子の製造方法

発明者： 山田 一 ,  竹内 雅樹
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219619
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043646
特許番号：特許第3509709号
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板と、下層電極と、AlNを主成分とする圧電体薄膜と、上層電極と、ダイヤフラム部とを有する圧電薄膜共振子であって、前記AlNを主成分とする圧電体薄膜は、結晶性がC軸配向であり、ロッキングカーブの半値幅が1.4°〜1.6°であり、内部応力が±1GPaの範囲であることを特徴とする、圧電薄膜共振子。

IPC (6件)：

H01L 41/24 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H03H 9/17

FI (6件)：

C23C 14/06 A ,  C23C 14/34 U ,  H03H 9/17 F ,  H01L 41/22 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ホウ素含有窒化アルミニウム薄膜および製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-041687   出願人：住友電気工業株式会社
• 窒化アルミニウム薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-115483   出願人：財団法人ファインセラミックスセンター
• 特開昭62-214167