特許
J-GLOBAL ID：201103073489041953

ワーク保持機構

発明者：
佐藤 淳

佐藤 淳 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (5件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-025793
公開番号（公開出願番号）：特開2011-161553
出願日： 2010年02月08日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：
【課題】保持面に形成した吸着溝により伝達される負圧によってワークを保持する場合においても、ワークが適切に保持されていない状態となるのを事前に検出すること。【解決手段】環状フレーム101の開口部102にテープ103を介してワークWを支持した形態のワークユニット10のワークWをテープ103を介して保持する保持面34とこの保持面34に形成された吸着溝341とを有するワーク保持部3を有するワーク保持機構において、環状フレーム101の内周とワークWの外周との間に位置するテープ103に対応する位置に吸着溝341を囲むように形成された環状のリーク検出溝331と、リーク検出溝331に負圧を発生させる吸引部323と、リーク検出溝331と吸引部323との間に配設された圧力センサ324とを有し、リーク検出溝331の断面積を吸着溝341の断面積よりも大きくしたことを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
環状フレームの開口部にテープを介してワークを支持した形態のワークユニットのワークを前記テープを介して保持する保持面と当該保持面に形成された吸着溝とを有する保持部と、前記吸着溝に負圧を発生させる第一の吸引部とを有するワーク保持機構であって、 前記環状フレームの内周とワークの外周との間に位置する前記テープに対応する位置に前記吸着溝を囲むように形成された環状のリーク検出溝と、前記リーク検出溝に負圧を発生させる第二の吸引部と、前記リーク検出溝と前記第二の吸引部との間に配設された圧力検知部とを有し、前記リーク検出溝の断面積は、前記吸着溝の断面積よりも大きいことを特徴とするワーク保持機構。
IPC (4件)：
B23Q 3/08 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/301 ,  H01L 21/683
FI (4件)：
B23Q3/08 A ,  B24B41/06 Z ,  H01L21/78 N ,  H01L21/68 P
Fターム (33件)：
3C016DA01 ,  3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB73 ,  3C034CA30 ,  3C034CB14 ,  3C034DD10 ,  4E068CE09 ,  4E068DA10 ,  5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031HA02 ,  5F031HA14 ,  5F031HA24 ,  5F031HA27 ,  5F031HA29 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031HA78 ,  5F031JA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA10 ,  5F031JA13 ,  5F031JA14 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031JA33 ,  5F031JA37 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031MA34 ,  5F031PA14
引用特許：
出願人引用 (3件)

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