特許
J-GLOBAL ID：200903048258317724

ウェーハの加工装置

発明者：
野村 洋志

野村 洋志 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-271474
公開番号（公開出願番号）：特開2009-095953
出願日： 2007年10月18日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】複数のサイズのダイシングフレームに対応可能な真空チャック式の吸引機構を設けて、部品点数の低減に伴う作業手間の軽減ならびにコスト上昇が抑えられるウェーハ加工装置を提供する。【解決手段】ウェーハ1が載置される真空チャック式のチャックテーブル21の周囲に、複数のフレーム保持部30を配する。フレーム保持部30は、ダイシングフレーム6を吸着して保持する吸着パッド33を有する可動ピース32と、可動ピース32をチャックテーブル21の径方向に沿って移動自在に支持するガイドロッド31を備える。可動ピース32を、保持するダイシングフレーム6の径に対応させて移動させ、ロック機構によりロックし、その位置でダイシングフレーム6を吸着して保持する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
リング状のフレームの内側に該フレームに粘着される粘着テープを介して保持されたウェーハを保持する保持手段と、 該保持手段に保持されたウェーハに加工を施す加工手段とを少なくとも備えたウェーハ加工装置であって、 前記保持手段は、前記ウェーハが載置されるとともに、該載置されたウェーハを吸引して保持する略水平な吸着面を有するチャックテーブルと、 該チャックテーブルの周囲に配設されて前記フレームを保持する複数のフレーム保持部とを具備し、 該フレーム保持部は、前記フレームを吸引して保持する吸着面を有する吸引機構と、前記チャックテーブルの前記吸着面と平行方向に延び、前記吸引機構を前記吸着テーブルに対して進退自在に支持するガイド部と、該ガイド部の任意の位置に前記吸引機構を係脱自在にロックさせるロック機構とを有し、 さらに前記吸引機構の前記吸着面が、ウェーハ加工時に、少なくとも前記フレームの厚さ分、前記チャックテーブルの前記吸着面よりも前記吸引方向に位置付けられることを特徴とするウェーハの加工装置。
IPC (6件)：
B24B 41/06 ,  H01L 21/301 ,  B23K 26/38 ,  B23K 26/40 ,  H01L 21/683 ,  B23K 26/10
FI (7件)：
B24B41/06 Z ,  H01L21/78 N ,  H01L21/78 B ,  B23K26/38 320 ,  B23K26/40 ,  H01L21/68 P ,  B23K26/10
Fターム (10件)：
3C034AA19 ,  3C034BB73 ,  3C034BB75 ,  3C034DD10 ,  4E068AE00 ,  4E068CE04 ,  4E068DA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA13 ,  5F031MA34
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)

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