特許
J-GLOBAL ID：201103073560195835
クリーニングシ-ト
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-121242
公開番号（公開出願番号）：特開2000-312862
特許番号：特許第3822763号
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板処理装置内に搬送することにより上記装置内に付着している異物を除去するための基板処理装置のクリーニングシートであって、支持体に、活性エネルギー源により硬化した粘着剤層からなる、シリコンウエハ(ミラー面)に対する180°引き剥がし粘着力が20g/10mm以下であるクリーニング層が設けられてなる基板処理装置のクリーニングシート。
IPC (5件)：
B08B 1/02 ( 200 6.01)
, A47L 25/00 ( 200 6.01)
, C09J 7/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
B08B 1/02
, A47L 25/00 B
, C09J 7/02 Z
, H01L 21/304 644 Z
, H01L 21/304 648 A
, H01L 21/68 N
