キャリアストッカ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：吉田茂明 , 吉竹英俊 , 有田貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063183
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260848
特許番号：特許第3977542号
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を収容する収容部と収容部の上部に設けられた係合部材とを有する基板のキャリアを収容するキャリアストッカであって、キャリアの底部の一部を支持し、キャリアストッカの外部との間でキャリアを受け渡しする第1受け渡し部と、キャリアストッカの外部との間でキャリアが受け渡しされるために、または、キャリアストッカの外部との間でキャリアに対して基板が受け渡しされるためにキャリアが載置される第2受け渡し部と、キャリアの底部の内、前記第1受け渡し部で支持される部分とは異なる部分を支持し、前記第1受け渡し部との間でキャリアを受け渡しするキャリア搬送手段と、キャリアの係合部材を保持してキャリア搬送手段と第2受け渡し部との間でキャリアを搬送する仲介搬送手段とを備えたキャリアストッカ。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) , H01L 21/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

キャリア搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-201809 出願人：東京エレクトロン東北株式会社
被処理体支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-023268 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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