特許
J-GLOBAL ID:201103073747351393
酸転写性樹脂組成物、バイオチップ及びバイオチップの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小島 清路
, 萩野 義昇
, 谷口 直也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-158209
公開番号(公開出願番号):特開2011-013118
出願日: 2009年07月02日
公開日(公表日): 2011年01月20日
要約:
【課題】酸の拡散の選択性に優れる樹脂組成物層を形成できる酸転写性樹脂組成物及びこれを用いたバイオチップの製造方法、並びにこのバイオチップの製造方法により形成されたバイオチップを提供する。【解決手段】本酸転写性樹脂組成物は、(A)重合体と、(B)イミノスルホネート系感放射線性酸発生剤と、(C)N-t-ブトキシカルボニル基含有化合物とを含有する。また、本方法は、(a)酸に不安定な保護基を有する第1化合物からなる第1化合物層を基板上に結合させる工程、(b)前記第1化合物層上に本樹脂組成物をコーティングして樹脂組成物層を形成する工程、(c)前記樹脂組成物層を露光及び熱処理して、露光された部分に対応する前記第1化合物層を構成する前記第1化合物から前記保護基を除去する工程、(d)前記樹脂組成物層を除去する工程、及び(e)前記保護基が除去された第1化合物に第2化合物を結合させる工程を含む。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)重合体と、
(B)イミノスルホネート系感放射線性酸発生剤と、
(C)N-t-ブトキシカルボニル基含有化合物と、
を含有することを特徴とする酸転写性樹脂組成物。
IPC (9件):
G01N 33/543
, G03F 7/095
, G03F 7/039
, G03F 7/004
, G01N 37/00
, C08L 33/26
, C08K 5/41
, C08K 5/205
, C08L 101/00
FI (12件):
G01N33/543 525G
, G03F7/095
, G03F7/039 601
, G03F7/004 501
, G03F7/004 503A
, G01N37/00 102
, G01N33/543 525U
, G01N33/543 525W
, C08L33/26
, C08K5/41
, C08K5/205
, C08L101/00
Fターム (30件):
2H125AF17P
, 2H125AF36P
, 2H125AF52P
, 2H125AH11
, 2H125AJ05Y
, 2H125AJ14Y
, 2H125AJ54Y
, 2H125AL01
, 2H125AM13P
, 2H125AM23P
, 2H125AM38P
, 2H125AN39P
, 2H125AN54P
, 2H125AN63P
, 2H125BA01P
, 2H125BA26P
, 2H125BA31P
, 2H125CA30
, 2H125CB05
, 2H125CC03
, 2H125CC16
, 2H125DA12
, 2H125DA30
, 2H125DA40
, 4J002BG131
, 4J002EN046
, 4J002EN096
, 4J002EV247
, 4J002FD310
, 4J002GT00
引用特許:
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